На все случаи жизни - очень дорого будить.
Насчет эталона - а вы видели поверочную схему для "уровеня гармоник" на ГГц? (нет поверочной схемы - нет эталона)
Для измерения уровня гармонических составляющих выше 200 кГц сгодится и В6-10, и SMV... все зависит от диапазона частот Ваших генераторов.
А так, выбирайте любой.. известных брендов Агилент, РодеШварц. (Гудвиловские, по крайней мере ЖСП827, Протек... не советую - ИМХО, гамно)
Т.к. для генераторов оговаривается только уровень гармонических (да и негарм.) составляющих, но не указывается сколько этих составляющих смотреть надо, ИМХО, стоит выбирать АС такой, что можно было посмотреть хотя бы 4-ю гармонику. Т.е.диапахон частот до (fверхГВЧ х 4).
Возьмете со следящим генератором - сможете смотреть АЧХ, проводить измерения затухание девайсов.
Сама погрешность измерения уровня - зависит от нескольких факторов... найдете пов. схему узнаете требования.
В общем, Ваш вопрос широк
ответ мой пока тоже расплывчат